- 自主研制的溅射外延系统 - I(超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 1200 oC)
-

- 自主研制的溅射外延系统 - II (超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 1000oC)

- 自主研制的溅射外延系统 - III (超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 850oC)
-

- 自主研制的溅射外延系统 - Ⅳ

- MBE-ARPES 联合系统

- 工业级溅射系统

- 高品质陶瓷靶材制备间

- 低温强磁场电输运系统

- 变温Hall测量仪

- 大科学装置 - 同步辐射光源

- 光电化学测试系统

- 自动压力研磨抛光机
