- 自主研制的溅射外延系统 - I(超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 1200 oC)
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- 自主研制的溅射外延系统 - II (超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 1000oC)
- 自主研制的溅射外延系统 - III (超高真空10-9Torr,高氧压 760 Torr,高温 850oC)
- 自主研制的溅射外延系统 - Ⅳ
- MBE-ARPES 联合系统
- 工业级溅射系统
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- 低温强磁场电输运系统
- 变温Hall测量仪
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